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旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)
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重復(fù)精度(徑向): (0.02+3.5H/10000)µm,H為測(cè)量高度。
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重復(fù)速度(軸向):(0.02+3.5X/10000)µ,R為測(cè)量半徑。
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工作臺(tái)有效直徑: Ф235mm(DS和DH型為Ф200mm)
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調(diào)心范圍: ±3mm(DS和DH型為±5mm),調(diào)水平范圍: ±1°
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最大承載重量: 30kg ,最大測(cè)量工件直徑: Ф300mm
最大承載直徑: Ф580mm
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垂直軸(Z軸)行程:300mm
運(yùn)動(dòng)直線度: 0.1µm/100mm,0.15µm/300mm,0.25µm/500mm(AH和DH型)
回轉(zhuǎn)中心軸間平行度: 0.7µm/300mm,1.2µm/300mm(AH和DH型)
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測(cè)量速度:0.5,1,2,5mm/s 最大檢測(cè)高度:300mm((AH和DH型為500mm)
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最大檢測(cè)深度:85mm
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水平臂(X軸)行程:175mm(包括旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)中心的突出量25mm)
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水平臂直線度:0.7um/150mm
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水平移動(dòng)定位速度:利用操縱桿時(shí)最大30mm/s
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水平測(cè)量速度:0.5,1,2, 5mm/s
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測(cè)針感應(yīng)范圍:±400um
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測(cè)力: 10~50mN(5級(jí)),
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標(biāo)準(zhǔn)測(cè)頭: Ф1.6mm雙方向硬質(zhì)合金球
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測(cè)頭角度調(diào)整范圍:±45度
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電源:AC100~240V 50/60Hz
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倍率:100x~100000x,重量:180kg
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軟件:ROUNDPAK
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同等級(jí)中首先搭載有自動(dòng)調(diào)心、自動(dòng)調(diào)水平功能